- 产品描述
- 技术指标
- 应用案例
-
产品型号：
MBE-400
产品简介：
分子束外延系统是实验室中制备高性能单晶材料薄膜的核心设备，可用于制备高性能的氧化物材料、拓扑绝缘体等。系统采用模块化设计方便后续升级维护，可与我司其他设备互联实现多种材料的沉积。
-
晶圆尺寸
2inch
极限真空
优于1×10-10mbar
真空测量
离子规+阴极规+皮拉尼规
真空泵组
机械泵+分子泵+吸附泵+冷阱 （液氮，可选）
温控
RT-800℃，可选RT-1200℃
蒸发源
6~10个，可选不同类型蒸发源与电子束源
膜厚测量
膜厚仪，可伸缩
原位监控
可选RHEED
进样室
可装载6片2inch晶圆
控制系统
PC+PLC，全自动操作与安全互锁
占地面积
3m L*2m W*2m H
可选
低温泵、自动传输、反应溅射、膜厚仪、工艺菜单、高压RHEED等
分子束外延系统
所属分类
关键词
合作意向表
应用行业
—— 为中国集成电路制造提供可靠设备，用精密测量赋能科技创新！
微信公众号
bilibili账号